鎢燈絲掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
 

　　掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強(qiáng)、形狀三維等特點(diǎn)，比其他顯微鏡能提供更多的信息，對(duì)用戶有很大的價(jià)值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì)，在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。
 

　　因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較，由于用于觀察的電子探針電流小，電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也小此外，它不會(huì)在固定處照射樣品，而是通過光柵掃描照射樣品因此，對(duì)一些生物樣品進(jìn)行觀察是非常重要的，因?yàn)闃悠返膿p傷和污染程度都很小。
 

　　鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要性能參數(shù)
 

　　1、分辨率
 

　　對(duì)微區(qū)成分分析而言，分辨率指能分析的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)間的最小距離。
 

　　鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率主要受三方面影響：入射電子束束斑直徑、入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)、成像方式及所用的調(diào)制信號(hào)。
 

　　二次電子像的分辨率約為5-10nm，背散射電子像的分辨率約為50-200nm。一般來說鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率指的是二次電子像的分辨率。
 

　　2、放大倍數(shù)
 

　　放大倍數(shù)可從十倍到幾十萬倍連續(xù)可調(diào)。
 

　　放大倍數(shù)：M=L/I，其中L是顯像管尺寸，I是光柵掃描時(shí)相鄰兩點(diǎn)間距。M通過調(diào)節(jié)掃描線圈電流進(jìn)行，電流小則電子束偏轉(zhuǎn)角度小，放大倍數(shù)增大。放大倍率不是越大越好，要根據(jù)有效放大倍率和分析樣品的需要進(jìn)行選擇，與分辨率保持一定關(guān)系。
 

　　3、景深
 

　　景深指一個(gè)透鏡對(duì)高低不平的試樣各部位能同時(shí)聚焦成像的一個(gè)能力范圍。估算景深D=2 r/a=0.2/(aM)mm，a-電子束張角，M-放大倍數(shù)。物鏡采用小孔視角、長(zhǎng)焦距，可獲得很大景深。
 

　　4、襯度
 

　　包括表面形貌襯度和原子序數(shù)襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。原子序數(shù)襯度指掃描電子束入射試祥時(shí)產(chǎn)生的背散射電子、吸收電子、X射線，對(duì)微區(qū)內(nèi)原子序數(shù)的差異相當(dāng)敏感。原子序數(shù)越大，圖像越亮。二次電子受原子序數(shù)的影響較小。高分子中各組分之間的平均原子序數(shù)差別不大；所以只有—些特殊的高分子多相體系才能利用這種襯度成像。